GD01-013LMBE制备TiO2薄膜的性能研究

来源 :第10届全国光电技术学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:flyingmomo1986
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  采用激光分子束外延(LMBE)的方法在玻璃衬底上制备了二氧化钛薄膜,研究了制备温度和氧压对薄膜表面形貌、晶体结构和光学性能的影响。结果表明:二氧化钛薄膜的折射率随着温度的升高而增大,随着氧压的增大先增大后减小。薄膜在制备温度低于300℃时都为非晶态结构,在300℃时出现了板钛矿晶相,制备温度升高到500℃时,薄膜仍为板钛矿晶相。通过AFM图分析得出:随着基片温度的升高,二氧化钛薄膜的致密度增大,粗糙度增加;随着氧压的增大,致密度减小。随着温度的升高。二氧化钛薄膜的带隙变窄;随着氧压的增大,带隙变宽。
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