【摘 要】
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采用Ti-Al-Zr合金靶和Cr靶，用多弧离子镀技术在WC-8％CO硬质合金基体上沉积(Ti,Al,Zr,Cr)N多元氮化物膜。分析了薄膜的成分、结构和微观组织，并研究了薄膜的显微硬度、膜/基结合力和抗高温氧化性能。结果表明，获得的多元氮化物膜仍是B1-NaCl型TiN面心立方结构;在不同的偏压下，(Al+Zr+Cr)/(Ti+Al+Zr+Cr)的成分比值为0.41-0.43;适当增大偏压可以减少
【机 构】
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东北大学材料各向异性与织构工程教育部重点实验室 沈阳 110004;沈阳大学机械工程学院 沈阳 110044
【出 处】
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第15届全国腐蚀与表面保护技术研讨会暨首届全国腐蚀与表面保护技术青年论坛
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采用Ti-Al-Zr合金靶和Cr靶，用多弧离子镀技术在WC-8％CO硬质合金基体上沉积(Ti,Al,Zr,Cr)N多元氮化物膜。分析了薄膜的成分、结构和微观组织，并研究了薄膜的显微硬度、膜/基结合力和抗高温氧化性能。结果表明，获得的多元氮化物膜仍是B1-NaCl型TiN面心立方结构;在不同的偏压下，(Al+Zr+Cr)/(Ti+Al+Zr+Cr)的成分比值为0.41-0.43;适当增大偏压可以减少沉积过程中薄膜表面的液滴污染，提高薄膜的显微硬度和膜/基结合力,最高可分别达到HV3600和200N;同时薄膜的抗高温氧化性能提高，最高可达700℃左右。
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