通过多靶磁控共溅射系统分别在硅和钛合金基底上沉积了TiN和TiN-Ag纳米复合薄膜。本文主要研究了银含量对TiN-Ag纳米复合薄膜的机械性能和生物性能的影响。由XRD和SEM结果可知,与TiN薄膜相比,银的掺杂有利于氮化物的结晶,包括TiN and Ti2N,但随着银含量的逐渐增加,氮化物的结晶性反而会变差,其衍射峰甚至会消失,从mapping图像中可以看出,银均匀地分布在TiN-Ag复合膜的表面,从表面SEM图像可以清晰地看出银的纳米颗粒,而且分布较均匀,银颗粒的尺寸随银含量的增加而变大,TiN薄膜的截面SEM图像显示出明显的柱状晶,结构不够致密,缺陷较多,而TiN-Ag复合膜的结构更致密,缺陷更少,正是由于这种更致密的结构,TiN-Ag复合膜的硬度和弹性模量高于TiN薄膜,随着银含量的增加,硬度和弹性模量达到最大值后会急剧下降,银作为一种软金属掺杂到TiN薄膜中,也极大地提高了其膜基结合力,随着银含量的增加,TiN-Ag复合膜的临界载荷先增大后减小,通过分析AFM的结果,TiN-Ag复合膜的粗糙度更大,正因如此,薄膜表面更亲水,也更有利于细胞的黏附,细胞在薄膜上的黏附状态可以在电镜下清楚地观察到,在细胞增殖实验中,TiN-Ag复合膜表面上生长的小鼠成纤维细胞的数量也远远多于TiN薄膜上的细胞数量,而随着银含量的增加,细胞的数量出现急剧的下降。银的掺杂以及适当的银含量有利于提高TiN-Ag复合膜的机械性能以及生物相容性。