论文部分内容阅读
该文提出了可用于绝对距离测量的波长扫描干涉法。系统中包含两个光纤F-P干涉仪,一个作为参考干涉仪,另一个作为测量干涉仪。通过波长扫描将参考腔和待测腔联系起来,得到待测距离的绝对信息,从而可用于测量精密加工件的绝对尺寸。实验证明,该方法降低了系统对光源的要求,并易于校准。该文给出了两个光纤F-P干涉仪的详细设计方案。