用磁控溅射法制备Nb-NbN复合膜来改善射频超导加速器铌膜超导性能的研究

来源 :2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:stwl1976
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随着射频超导谐振腔在粒子加速器中的广泛应用,提高铜铌溅射型薄膜超导腔的加速性能、改善铌(Nb)膜的Q-slope影响是重离子超导直线加速器的研究热点之一.本文用磁控溅射法制备了铌(Nb)膜和Nb-NbN复合膜.用X射线衍射(XRD)和俄歇电子能谱(AES)来比较两种薄膜的特点,发现Nb-NbN复合膜有效地阻止了铌膜的氧化,这可能成为提高薄膜超导腔加速性能的有效方法.
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