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该文介绍了用于大范围纳米测量的差拍法-珀干涉仪的原理及其特性,包括分辨率、测量范围、非线性误差以及总的测量不确定度。利用该干涉仪与一用于纳米测量的偏振干涉进行了纳米比对实验,实验结果表明,两干涉仪的测量结果有很好的一致性。由于偏振干涉仪有较大的非线性误差,而法-珀干涉仪的非线性误差较小,因此通过比对实验,也得到了偏振干涉仪的非线性误差。