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介绍了一种步进谐波机构驱动的精密位移工作台的结构设计，分析了各主要误差源对工作台定位精度的影响。通过合理的精度设计、可消减传动误差的结构设计，可使工作台实现亚微炫及的分辨率及微米级的定位精度
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一种微位移工作台的结构设计及误差分析
【摘 要】
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介绍了一种步进谐波机构驱动的精密位移工作台的结构设计，分析了各主要误差源对工作台定位精度的影响。通过合理的精度设计、可消减传动误差的结构设计，可使工作台实现亚微炫及
【机 构】
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中国科学院长春光机所
【出 处】
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中国科协首届学术年会
【发表日期】
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1999年期
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