基于钙钛矿材料的太阳能电池在近5 年内迅速发展,能量转换效率平均每年增加3％,目前的效率已经超过了16％.由于平面薄膜电池能够使用简单低温的工艺大批量生产,除了介孔钙钛矿太阳能电池,平面异质结钙钛矿电池也受到关注.对钙钛矿材料平面薄膜制备工艺的改进是制备高效率钙钛矿平面薄膜太阳能电池的关键,直接旋涂、旋涂-浸泡、气相辅助溶液沉积、共蒸镀等工艺被用于制作钙钛矿薄膜,得到了高效的平面钙钛矿电池.但上述工艺在钙钛矿薄膜的形貌优化、技术的简便可控等方面还存在一些问题.我们使用气相法连续沉积了PbI2和CH3NH3I,通过原位反应得到了CH3NH3PbI3薄膜,平均钙钛矿晶粒尺寸达到了500nm,能够完全覆盖基底.钙钛矿无机物前驱体薄膜提供反应中心,同时有助于形成大的钙钛矿晶粒,优化钙钛矿薄膜的载流子传输性能.采用不使用有机溶剂的全蒸镀工艺,我们制作了两层膜结构的平面钙钛矿电池,,取得了5.4％的效率.相应的工艺流程和电池特征如图1 所示.