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用直流反应磁控溅射－多弧离子镀技术，在高速工具钢基体上沉积C<,3>N<,4>/TiN复合超硬薄膜。薄膜中存在β-C<,3>N<,4>和α-C<,3>N<,4>六角晶系硬质相氮化碳，用XRO和TED两种方法同时观测到薄膜中还存在立方晶系c-C<,3>N<,4>和p-C<,3>N<,4>，复合膜的显微硬度46.7GPa，用原子力显微镜观察了薄膜的表面微结构。