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Properties of TiN Films Deposited with Cathodic Arc Deposition
【机 构】
：
Research Institute of Industrial Science & Technology,＃32 Hyoja-Dong,Nam-Gu,Pohang-City,Gyeongbuk 79
【出 处】
：
The 8th Asian-European International Conference on Plasma Su
【发表日期】
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2011年期
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