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Piezoelectric MEMS for Audio Signal Transduction,Microfluidic Management,Resonant Mass Sensing,and M
【机 构】
:
University of Southern California, Electrical Engineering-Electrophysics, Los Angeles, CA, USA
【出 处】
:
2008 IEEE International Ultrasonics Symposium(IUS)(2008 IEEE
【发表日期】
:
2008年期
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