【摘 要】
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本文研究了Ni-MoS复合电镀层在不同工艺条件下的结构特征、形貌,并分析了其摩擦特性,发现复合电镀层厚度和MoS的晶向对摩擦系数影响较大;即使在MoS含量较少,Ni-MoS复合镀层的
【机 构】
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中国科学技术大学国家同步辐射实验室
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本文研究了Ni-MoS<,2>复合电镀层在不同工艺条件下的结构特征、形貌,并分析了其摩擦特性,发现复合电镀层厚度和MoS<,2>的晶向对摩擦系数影响较大;即使在MoS<,2>含量较少,Ni-MoS<,2>复合镀层的极限剪切模量也比金属Ni降低很多.这为LIGA技术制造自润滑MEMS器件提供了有益的参考并提供低MoS<,2>含量的Ni-MoS<,2>复合材料的一些基本性质.
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