铜纳米线弹性模量原位测试

来源 :第三届全国纳米材料与结构、检测与表征研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:simon_186
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铜纳米线具有良好的电导率与热导率,将作为主要元件而广泛应用于微纳器件、光电子器件,因而其力学性能的测量对于纳米器件的设计制造至关重要.本文介绍了利用扫描电子显微镜和扫描探针显微镜联合测试系统对铜纳米线进行原位弯曲实验,通过分析得到铜纳米线的力学性能.实验结果表明铜纳米线的弹性模量在研究范围内存在尺寸效应.
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