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为了提高Zr-4合金的耐氧化性能, 采用金属蒸汽具空弧离子源(MEVVA源)对其进行了钇离子注入。 实验中测量了不同剂量钇离子注入样品在500℃空气氧化的氧化增重曲线,研究了钇离子注入剂量对Zr-4合金氧化增重的影响。通过对不同剂量钇离子注入样品氧化后的表层进行X光电子谱(XPS)和小角掠射X射线技术(GAXRD)分析,得出了氧化层的成分和结构,研究了钇离子注入提高Zr-4合金耐氧化性能的机制。