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考虑微型气浮轴承的尺寸特征，内部气流不再满足连续流的假设，根据Knudsen数可确定内部气流为滑移流。依据滑移流边界条件对连续流的状态方程进行修改，得到滑移流机制下改进的雷诺方程。利用有限差分法分别对连续流和滑移流情况下的雷诺方程进行求解，分别得出相应的承载能力和偏位角。经过对比分析，发现在滑移流情况下轴承的稳态力学性能与连续流机制的情况有很大差异，说明在MEMS环境下必须考虑滑移流效应对微型气浮轴承稳态力学性能的影响。