高精度三维测量系统331原则

来源 :2009海峡两岸现代精度理论及应用学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:candysan
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  仪器测量系统结构布局对仪器精度有重要影响,为了既保证测量精度又降低成本,在仪器的设计上提出了多种原则,如传统的阿贝原则及艾伯斯坦原理等。但这些原则均只适用于一维测量,对于二维及三维测量,由于仪器结构布局,特别是多维导轨的布局,难以避免堆叠式结构的出现,这就会因导轨直线度而造成一次阿贝误差。计算机及CAA技术的出现使多维结构的精度有了保证,但这种技术的作用是有限的,其对于高精度测量,特别是纳米及亚纳米精度的测量是不适用的。所以,必须寻求新的原则,因此,我们提出了满足"331原则"的结构布局,能有效保证亚纳米级测量的精度。
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