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以外差式进一步仪为奈米尺规，以挠性微动台为奈米地轨，以压电传感器为奈米驱动器，并整合STM奈米探头，完成一台具有次奈米定位能力的计量型STM，能够将微米结构与奈米结构的二维尺寸直接追溯至长度标准。
奈米测长定位与计量型扫描穿隧显微镜
【摘 要】
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以外差式进一步仪为奈米尺规，以挠性微动台为奈米地轨，以压电传感器为奈米驱动器，并整合STM奈米探头，完成一台具有次奈米定位能力的计量型STM，能够将微米结构与奈米结构的二维尺寸
【机 构】
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量测技术发展中心
【出 处】
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第三届海峡两岸计量科技学术研讨会
【发表日期】
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2000年期
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