非离子表面活性剂在ULSI碱性铜抛光液中的性能

来源 :2008全国青年摩擦学与表面保护学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:stslayer
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使用了四种非离子表面活性剂分别添加到以SiO3水溶胶为磨料、H2O2为氧化剂的碱性铜抛光液中进行抛光试验。结果表明:所选用的非离子表面活性剂对材料去除率的影响不大,当烷基酚聚氧乙烯醚在质量分数为0.25%时,抛光表面质量提高,表面粗糙度由Ra=13.54(A)下降到了Ra=8.976(A),同时有效地减轻了铜抛光表面的划痕和腐蚀,其原因是聚氧乙烯链可以通过醚键与水分子形成氢键,因而在聚氧乙烯周围形成一层溶剂化的水膜保护了被吸附表面。
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直接在非极性基础油中通过W/O型微乳液反应法制备Schiff碱和Schiff碱铜络合物。在非极性基础油中添加1%(W/W)的纳米级水杨醛缩乙二胺铜(Ⅱ)络合物,润滑油的极压值提高了3.7倍。俄歇电子谱(AES)分析了四球试验的顶球磨斑表面,研究表明,在1%的纳米乙二胺缩水杨醛Schiff碱铜(Ⅱ)络合物改性的非极性润滑油润滑下,钢一钢摩擦副发生了选择性转移效应。
在实际工业应用中,由于各种因素的影响,润滑是一非稳态的过程,机器的启动与停止过程和机构的周期性间歇运动等都会引起润滑表面速度的变化,润滑油膜的厚度也发生变化。使用光干涉动态油膜测量系统对循环卷吸条件下聚丁烯形成的弹流油膜的变化进行了实验观测。实验中接触表面位移的变化见图1,运动周期为T,在T0时间内匀速运动。结果表明,在其它运动条件相同情况下,纯滚动与纯盘滑动产生不同的油膜。在纯滚动条件下,表面运
采用磁控溅射钛靶,以甲烷和氩气为前驱体,在单晶硅片表面制备了类富勒烯碳薄膜。采用高分辨率透射电子显微镜对薄膜的微观形貌进行了表征,采用-纳米压痕仪测定了薄膜的硬度及弹性回复,在球一盘微摩擦试验机上考察了薄膜在不同气氛(氮气、氧气、空气)中的摩擦行为。实验结果表明薄膜具有类富勒烯结构特征。计算出薄膜的硬度为20.9GPa,对应的弹性回复高达85%。薄膜的摩擦性能与气氛相关:在氧气中摩擦系数最小而磨损
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在化学镀镍磷工艺基础上,添加稀土铈能够提高镀层硬度、结合力、改善镀层的耐磨性能。本次实验对化学沉积稀土铈镍磷合金工艺条件进行了研究,在改变镀液中的各工艺参数的基础上,通过MRH-3高速环块磨损试验机和电子天平,得到化学镀稀土镍磷镀层的摩擦系数和磨损量的变化,从而确定耐磨性最好的一组工艺参数。
评述了硬质薄膜如类金刚石(diamond like carbon,简称DLC)、非晶氮化碳以及金属氮化物和氧化物薄膜的水润滑性能的研究进展。分析了硬质薄膜在水润滑条件下的摩擦磨损特性,阐述了硬质薄膜在水中的磨损机制。指出:硬质薄膜在水中具有优异的减摩耐磨性能,其水润滑特性与薄膜结构、成分以及对磨副材料的物理化学性能有关。若是摩擦副材料易于摩擦水合反应,硬质薄膜具有较低的磨损率。
本文利用磁控溅射W+低温离子渗硫复合技术在45钢表面制备了WS2固体润滑薄膜。利用SEM观察了薄膜的表面和磨痕形貌,并利用XRD分析了薄膜的相结构,用X射线应力仪测定了薄膜表面的残余应力,用纳米压痕仪测定了薄膜的纳米硬度和弹性模量。用T-ll摩擦磨损试验机分别考察了WS2固体薄膜在干摩擦和油润滑条件下的摩擦学性能。结果表明,无论在干摩擦还是油润滑条件下,WS2薄膜都具有优异的减摩耐磨性能,且明显优
磨屑轮廓的雷达图分形表征是一种较为有效的磨屑轮廓表征方法。本文研究了利用计算机编程实现磨屑雷达图分形表征的计算原理。计算过程中,磨屑轮廓与背景分离过程最为重要,本文设定三种方法进行磨屑轮廓与背景分离:手动分离法操作简单,所得到的磨屑轮廓线受人工影响,精确度不高;自动分离法可以对一张图片上的多个磨屑进行自动处理和统计,具有方便快捷的特性,但对于磨屑轮廓与背景灰度值差别不大的图像,得到的轮廓结果往往有
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