【摘 要】
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电子厂之湿气负荷虽然非常小,但由于制程排气与洁净室正压化之需求,必须引入足够之外气量.台湾地区之外气露点温度,虽然绝大部分时间均高于电子厂洁净室之湿度要求,但一年之间总有数天气温特别低,使得外气必须先经加湿后才可送入洁净循环系统.故在干燥季节或冬季,当外气露点温度很低时,[加湿]是电子厂外气处理之重要工作.晶圆厂与光电薄膜晶体管液晶显示器(TFT/LCD)厂等大型电子厂,为了解决洁净室之静电问题,
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电子厂之湿气负荷虽然非常小,但由于制程排气与洁净室正压化之需求,必须引入足够之外气量.台湾地区之外气露点温度,虽然绝大部分时间均高于电子厂洁净室之湿度要求,但一年之间总有数天气温特别低,使得外气必须先经加湿后才可送入洁净循环系统.故在干燥季节或冬季,当外气露点温度很低时,[加湿]是电子厂外气处理之重要工作.晶圆厂与光电薄膜晶体管液晶显示器(TFT/LCD)厂等大型电子厂,为了解决洁净室之静电问题,[加湿]是外气处理程序之主要项目.外气加湿时,相对湿度将超于饱和,因此必须在加湿前对外气先行预热,来保持空气一定程度之吸湿能力.本研究针对水雾加湿与蒸汽加湿之特性,以台湾地区之气候条件探讨外气之加湿程序,分别以晶圆厂与LCD厂之洁净室相对湿度要求,分析检讨外气之预热与湿度之控制.并探讨二流体水雾加湿与空气洗涤器加湿之差异,以及空气洗涤器兼做加湿器时,必须考量之配套设计.
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