【摘 要】
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Ultrathin diamond-like carbon (DLC) films with thickness of 5-60nm have been prepared on Si by plasma-based ion implantation (PBⅡ).Raman sPectrum and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) show that t
【机 构】
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Research Institute of Electronic Science and Technology,University of Electronic Science and Technol
【出 处】
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电子科技大学电子科学技术研究院第三届学术交流会
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Ultrathin diamond-like carbon (DLC) films with thickness of 5-60nm have been prepared on Si by plasma-based ion implantation (PBⅡ).Raman sPectrum and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) show that these DLC films present high sp3/sp2 ratios.XPS also displays that each DLC film firmly adheres to Si substrate owing to a C-Si transition layer.Atomic force microscope.(AFM) exhibits that the DLC films are smooth andcompact with average roughness (Ra) of about 0.25nm.Sliding friction experiments reveal that these DLC films have significantly improved tribologieal performances.With the DLC film thickness increase, the sp3/sp2 ratio increases, the roughness decreases, the hardness increases, the adhesive wear lightens, and thereby the tribological performances enhance.Also, the effects of the applied 1oad and the reciprocating frequency on the tribologieal performances have been discussed.
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