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采用磁过滤直流真空阴极弧沉积技术在不锈钢基体上制备了类金刚石(DLC)膜。利用光学显微镜、台阶仪、X 射线光电子能谱、Raman 光谱、显微硬度计、摩擦磨损仪、洛氏硬度计检测了薄膜的表面形貌、厚度、结构和相关力学特征。结果表明,膜中仍然存在着um 级的大颗粒分布,膜厚为290nm,sp3 键含量较高,在空气中的摩擦系数约为0.25,耐磨性能优良,膜与基体的结合性能良好。