【摘 要】
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将水热法合成的由5~8nm类球形一次颗粒自组装形成的分级结构氧化铈八面体(边长~200nm)分别在500~900oC下煅烧制备了具有不同微结构和表面特征的八面体氧化铈抛光粉。结构表征显示,煅烧温度为500~700oC时,所得产物仍然为分级结构,八面体表面呈现凸起的颗粒状,一次颗粒形态由5~8nm类球形小颗粒转变为边长5~10nm八面体小颗粒;当煅烧温度继续升高至800oC时,一次颗粒间发生了显著的
【机 构】
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中国稀土学会2021学术年会论文摘要集
【出 处】
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中国稀土学会2021学术年会论文摘要集
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将水热法合成的由5~8nm类球形一次颗粒自组装形成的分级结构氧化铈八面体(边长~200nm)分别在500~900oC下煅烧制备了具有不同微结构和表面特征的八面体氧化铈抛光粉。结构表征显示,煅烧温度为500~700oC时,所得产物仍然为分级结构,八面体表面呈现凸起的颗粒状,一次颗粒形态由5~8nm类球形小颗粒转变为边长5~10nm八面体小颗粒;当煅烧温度继续升高至800oC时,一次颗粒间发生了显著的熔合,颗粒间界面不明显,八面体表面变得光滑;当煅烧温度达到900oC时,分级结构消失,得到了单晶结构氧化铈八面体。将不同温度的煅烧产物配成抛光浆料对K9玻璃抛光,结果表明,材料去除速率(MRR)先增大后减小,700℃煅烧产物具有最高的MRR(187.9 nm/min)和抛光表面平整性(RMS 0.73nm)。研究500~900oC煅烧产物的表面特征显示,随着煅烧温度的升高产物比表面积、表面活性氧和表面Ce3+含量逐渐降低。我们认为,700℃煅烧产物在具备一定机械抛光作用的同时,其分级结构具有较高的比表面积和表面化学活性,有利于化学抛光作用,因此抛光效果最佳。
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