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该文给出带有真空系统的大型仪器中常用的几种真空泵的保养与维修经验要点。该文对于仪器的操作者维护真空仪器系统是有帮助的。
扩散泵、溅射离子泵与涡轮分子泵的保养与维修
【摘 要】
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该文给出带有真空系统的大型仪器中常用的几种真空泵的保养与维修经验要点。该文对于仪器的操作者维护真空仪器系统是有帮助的。
【机 构】
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医科大学基础医学院
【出 处】
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中国仪器仪表学会医疗仪器分会学术会议
【发表日期】
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1997年期
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