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声表面波器件特点显著应用广泛，且完全可以利用大规模集成电路的平面制造技术制作，但对图形的厚度要求更加严格。本文结合几个实例分析讨论了膜厚对不同类型声表器件频率特性的直接影响，阐明了膜厚准确度对不同结构和不同电性能的各类器件的重要性及其在设计中的指导意义。
膜厚对声表器件频率特性的影响
【摘 要】
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声表面波器件特点显著应用广泛，且完全可以利用大规模集成电路的平面制造技术制作，但对图形的厚度要求更加严格。本文结合几个实例分析讨论了膜厚对不同类型声表器件频率特
【机 构】
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南京电子技术研究所国防科技工业军用微组装技术研究应用中心,南京 210039
【出 处】
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第十七届全国混合集成电路学术会议
【发表日期】
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2011年期
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