【摘 要】
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采用磁过滤阴极弧法，以金属Zr为阴极在真空室中通入C2H2和N2混合气体来制备纳米nc—ZrCN/a-C：H（N）复合薄膜，用X射线衍射（XRD）、扫描电镜的能谱仪（SEM-EDS）、X射线电子能谱（XPS）和纳米力
【机 构】
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北京师范大学射线束技术与材料改性教育部重点实验室北京师范大学低能核物理研究所北京市辐射中心,北京,100875
【出 处】
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2008年全国荷电粒子源、粒子束学术会议
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采用磁过滤阴极弧法，以金属Zr为阴极在真空室中通入C2H2和N2混合气体来制备纳米nc—ZrCN/a-C：H（N）复合薄膜，用X射线衍射（XRD）、扫描电镜的能谱仪（SEM-EDS）、X射线电子能谱（XPS）和纳米力学探针研究了薄膜的成分、结构及其性能。实验结果表明薄膜是由ZrCN和无定形碳两种纳米结构组成；气体流速对复合膜的的成分和结构有显著影响：随着混合气体流速的增加，薄膜的锆原子百分比减小，而N和C的含量逐渐增大，薄膜的硬度逐渐减小，ZrCN峰强度逐渐降低。
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