基于SAW原理的无线无源传感器及其工业相关应用

来源 :第十三届中国国际半导体博览会暨高峰论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wxjct
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对于SAW原理的无线无源传感器的研究,国内外已经开始了相当长的时间,作为赛赫信息科技公司的创始人之一,我公司技术负责人郑博士从2004年起,就开始了这方面的研究,并在2007年实现了样片的制备和测试工作,成功实现了项目应用.赛赫公司则从2011年开始至今,进行了产品化的研发,成功实现了传感器批量生产的关键工艺与无线接收端的产业化研发,并在多项关键性能上取得突破.目前,赛赫公司已经在SAW传感器的核心技术上获得了国家发明专利,PCT发明专利的申请也已经进入了保护期.与国外主流厂商的技术路线不同,赛赫公司采用多频点谐振技术制作的传感器,成功的将多个谐振腔一次流片整合在同一芯片之内,通过参考点的引入,使传感器芯片具有了自动补偿与校准的功能,避免了安装后定期校准的麻烦,充分发挥了装后不理的无线无源传感器的最大优势.同时,赛赫传感器在良品率上也完全达到了商业化的水平.
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