源区短路RMOS器件的导通电阻优势研究

来源 :第十届全国半导体集成电路、硅材料学术会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:asdf200201
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对含源区短路结构的宽槽间距RMOS器件,首次得出了甚增通电阻在相同工艺条件下是VDMOS导通电阻四分之一的结论。同时,元胞结构的RMOS导通电阻又是条形RMOS的一半。源区短路RMOS具有明显的导通电阻优势。
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