【摘 要】
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本文基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波微等离子体源,通过外加磁铁研究磁场对小功率微波微等离子体激励的影响.实验结果表明,当真空度为3.7Torr时,小功率微波微等离子体的激励功率随着外加磁场的增大而减小.这为小功率微波微等离子体源的小型化研究提供基础.
【机 构】
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华东师范大学信息学院,上海200241
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本文基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波微等离子体源,通过外加磁铁研究磁场对小功率微波微等离子体激励的影响.实验结果表明,当真空度为3.7Torr时,小功率微波微等离子体的激励功率随着外加磁场的增大而减小.这为小功率微波微等离子体源的小型化研究提供基础.
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