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本文主要介绍了一种用于微波电子回旋共振CVD系统的新型磁场结构,提出了磁场线圈与沉积室永磁体单元组合的结构,并对这一结构及其对等离子体的影响进行了实验和分析.
MWECR-CVD系统新型磁场结构的研究
【摘 要】
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本文主要介绍了一种用于微波电子回旋共振CVD系统的新型磁场结构,提出了磁场线圈与沉积室永磁体单元组合的结构,并对这一结构及其对等离子体的影响进行了实验和分析.
【机 构】
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中科院电子所(北京)
【出 处】
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2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议
【发表日期】
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2004年期
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