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Plasma CVD of Nanoparticle Composite Films and Their Applications
【机 构】
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GraduateSchoolofInformationScienceandElectricalEngineering,KyushuUniversity,Fukuoka819-0395,Japan
【出 处】
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The 8th Asian-European International Conference on Plasma Su
【发表日期】
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2011年9期
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