氮氧化铝选择性吸收膜的XPS分析

来源 :第三届中国功能材料及其应用学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:luck88
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氮氧化铝选择性吸收膜可以提高太阳能的吸收率,减少辐射损失,该文用X光电子能谱(XPs)对AlN<,x>O<,y>/Fe膜层进行了表面及深度分析。结果表明XPS方法是对氮氧化铝选择性吸收膜进行表面化学表征的有效方法。可以给出膜层中各组分随深度的分布和化学态。
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