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本文回顾和概括了MEMS传感器进入微米尺度后解决的几个关键性问题.文中结合微传感器发展的典型事例进行分析,并对我国科学工作者在其中的贡献给予肯定.在总结的基础上分析目前传感器走向纳米尺度的一些相关概念理解和需要着重研究的纳米效应问题.对传感器从微到纳的发展趋势进行了展望.
从微到纳尺度缩小进程中的传感器技术应对方略探讨
【摘 要】
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本文回顾和概括了MEMS传感器进入微米尺度后解决的几个关键性问题.文中结合微传感器发展的典型事例进行分析,并对我国科学工作者在其中的贡献给予肯定.在总结的基础上分析目
【机 构】
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传感技术国家重点实验室,中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050
【出 处】
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第九届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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2005年期
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