【摘 要】
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本文基于IE514分离规结构,建立了碳纳米管阴极电离规物理模型,根据电离规标准方程,利用离子光学模拟软件SIMION8.O分别研究了电极电压对灵敏度和lgrid/le的影响.结果表明,随
【机 构】
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兰州空间技术物理研究所,兰州730000
【出 处】
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中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会
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本文基于IE514分离规结构,建立了碳纳米管阴极电离规物理模型,根据电离规标准方程,利用离子光学模拟软件SIMION8.O分别研究了电极电压对灵敏度和lgrid/le的影响.结果表明,随着阳极/门极电压比值增大(Vgrid/Vgate),lgrid/le也将增大,然而,当阳极电压增大时,会导致灵敏度降低,进而影响真空测量下限的延伸,该模拟结果与相关文献报道的实验结果符合性很好.此研究中新型CNT阴极的应用为解决极高真空测量难题提供了重要途径.
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