【摘 要】
：
无论是在半导体还是在微电子行业,掩膜版的制作都被视为一项非常重要的环节.随着科技及制造业的发展,掩膜版的制作技术也由一开始的手工刻红膜照相制版发展到现在的图形发生器直接绘图制版.不仅仅是效率,更重要的是在精度上得到质的飞跃和提高,为半导体和微电子行业的发展提供了坚实的基础和保证.本文回顾了制版技术的发展,并且结合中国大部分企业的现状,提出了一种独特的制版方法.
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第四十一研究所,青岛 266555
论文部分内容阅读
无论是在半导体还是在微电子行业,掩膜版的制作都被视为一项非常重要的环节.随着科技及制造业的发展,掩膜版的制作技术也由一开始的手工刻红膜照相制版发展到现在的图形发生器直接绘图制版.不仅仅是效率,更重要的是在精度上得到质的飞跃和提高,为半导体和微电子行业的发展提供了坚实的基础和保证.本文回顾了制版技术的发展,并且结合中国大部分企业的现状,提出了一种独特的制版方法.
其他文献
本文主要介绍了北京同步辐射装置(BSRF)1W1BX射线吸收精细结构(XAFS)实验站利用美国CANBERRA公司19元高纯锗(HPGe)型固体探测器(SSD)和美国XIA公司数字X射线处理系统(DXP)建立起的荧光XAFS实验数据采集系统的设计与实现.荧光法是XAFS谱分析常用方法之一,常用于低浓度样品测试,所以要求测试系统具有良好的信噪比.本文采用19元HPGe型SSD,配合DXP系统,建立起
X荧光分析仪通过对水泥物料的成分分析,在水泥成生料质量控制系统中提供成分配料依据,是一种快速、精确的测量设备,文中讨论了XRF在水泥应用中的问题.
航天应用中的DC/DC转换器的可靠性受辐射影响极大,因此有必要在设计和制造过程中采取一定的辐射加固措施.本文介绍了国外航天DC/DC转换器常用的几种辐射加固方法,论证了这些辐射加固方法的不足之处.重点介绍了针对抗辐射性能的筛选新技术.新技术包括基于噪声敏感参数的小剂量辐照-退火筛选方法,以及美国橡树岭国家实验室最先提出的低频噪声无损筛选方法.在DC/DC转换器制造中采用筛选技术,可以提高转换器的抗
本文论述了L波段T/R组件接收噪声系数这一关键特性参数的构成,分析如何在设计生产和调试三个方面来控制和改善组件的噪声,提出了限幅器电路调试要点,从而,获得了良好的噪声特性,满足了L波段T/R组件噪声系数的设计要求.
本文着重介绍了一种陀螺精密三相交流电源的电路原理及功能,并详细阐述了将其转换为高可靠厚膜混合集成电路过程中解决的关键技术问题.
通过使用具有高效设计和优化功能的射频EDA仿真软件模拟多种方案电路的结果对比,优选设计出一种高性能的数字调谐LC带通滤波器.在数字部分的解码,驱动电路的控制下,滤波器能够在频带内实现10μs级的频率调谐,并保持良好性能的可靠性.实验表明,调谐滤波器工作在超短波频段,其测试结果与仿真曲线基本一直.
本文介绍了混合集成调制器电路的设计思路和方法、采用的关键技术,并对厚膜设计和制造工艺作了简单介绍.
本文从小电流源的原理分析入手,详细阐述了双路可调电流源研制中解决的电路设计、结构设计和元件选取等关键技术问题.同时,介绍了产品的主要功能和特点.
为了解决一般二元双极调宽功率放大器存在的电机损耗大的问题,本文介绍了三元脉冲调宽功率放大器的设计思路和方法,重点阐述了这种调宽功放电路在研制过程中遇到的技术难点和其解决方案.
微波集成电路中传统的NiCr-Au膜层和Sn63Pb37焊料焊接时,Au在高温下易和熔融Sn63Pb37焊料反应生成脆性的AuSn2甚至AuSn4,带来焊接和长期工作的可靠性等问题.本文针对这种现象,从焊料和膜层两个方向展开研究,对微波集成电路的常规膜系提出了一种改进方案,并进行一系列验证试验.