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将几种皆为耐蚀且弹性模量小的膜片材料-Ti和Nb-50Ti、Nb-40Ti-5.5Al以及Nb-25Ti-5Al(wt℅)合金试用于涨丝压力传感器,比较了各种膜片与壳体(3J53合金)的焊接性能,以及焊后热处理工艺;测试了用各种膜片制备压力传感器的基本性能,如温漂、线性度以及灵敏度。此外,还考查了各种膜片材料的制备工艺。试验结果表明,Nb-25Ti-5Al弹性合金是较理想的耐蚀微压压力传感器膜片材料。