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利用HCD离子溅镀机沉积晶粒大小介于60～120nm间的一系列TiCN硬质薄膜，包括单层TiCN硬质薄膜及渐进TiCN硬质薄膜，并利用穿透电子显微镜、X-ray绕射仪、超显微硬度计及磨耗试验机研究薄膜的显微结构、力学性质及其耐磨性质。研究结果显示其晶粒具有纳米级的TiCN渐进陶瓷硬质薄膜拥有较高的硬度值，其最高硬度达HV4600;磨耗试验证明TiCN渐进陶瓷硬质薄膜的耐磨性高于TiCN单层陶瓷硬质薄膜，最主要是因为薄膜镀层结构中拥有大量的晶界存在，提高了TiCN渐进陶瓷硬质薄膜的耐磨性。