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ITO薄膜传感器检测环境中微量二氧化氮气体
ITO薄膜传感器检测环境中微量二氧化氮气体
来源 :第三届全国环境模拟与污染控制学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sotfft
【摘 要】
:
本文采用溶胶凝胶技术制备的ITO薄膜传感器,用于二氧化氮气体检测,对高浓度和微量二氧化氮气体都有很好的灵敏度和选择性.论述了通过改变工作条件,可以适用于不同二氧化
【作 者】
:
焦正
吴明红
顾建忠
王德庆
石鑫
【机 构】
:
上海大学射线应用研究所,上海,201800
【出 处】
:
第三届全国环境模拟与污染控制学术研讨会
【发表日期】
:
2003年11期
【关键词】
:
传感器
薄膜
二氧化氮
环境检测
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本文采用溶胶凝胶技术制备的ITO薄膜传感器,用于二氧化氮气体检测,对高浓度和微量二氧化氮气体都有很好的灵敏度和选择性.论述了通过改变工作条件,可以适用于不同二氧化氮浓度的环境下使用的机理。
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