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热电材料是一种能够实现热能和电能直接相互转换的绿色环保型功能材料.P 型ZnSb基和N 型CoSb 基热电材料是中温区最具有发展前景的热电材料之一.近年来研究发现，热电材料薄膜化有助于降低热电材料的热导率，从而能够有效的提高材料的热电转换效率，因此具有十分重要的科学研究价值.本文将着重的介绍我们采用离子束溅射技术和磁控溅射技术制备P 型ZnSb 基和N 型CoSb 基热电薄膜的相关研究进展.我们主要通过研究制备方法的改进、条件参数优化对各种物理性能的影响，开展对P 型ZnSb 基和N 型CoSb 基热电薄膜的探索，以期达到提高热电薄膜材料热电特性的目的.如我们通过离子束溅射技术多层膜技术和磁控共溅射技术，并采用热处理和掺杂对薄膜结构和热电性能进行优化，制备了性能较好的P 型ZnSb 基和N 型CoSb 基热电薄膜.