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薄膜材料杨氏模量测量方法的研究进展
【机 构】
：
中国石油大学(北京)理学院, 北京 102249
【出 处】
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2014`全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会暨第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会
【发表日期】
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2014年期
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