随着大气污染问题的日益严重以及人们环保意识的不断增强,努力寻求减少污染物排放的新技术成了当今环保工作的一个热点.作为一门多学科交叉的新技术,低温等离子体在处理有害气体污染物方面有着低能耗、高效率、应用范围广等一系列优点,因而日益受到人们的重视.本文就低温等离子体的概念、产生以及在有害气体污染物的脱除方面的作用机理及目前的工业应用情况进行总结.常用的等离子体技术包括电子束法(EBA)、介质阻挡放电法、表面放电法、脉冲电晕法(PPCP)、直流电晕法、直流电晕自由基簇射技术等。低温等离子体中含有大量的活性粒子，这些活性粒子与有机物气体分子碰撞，使其激发到更高的能级。激发的气体分子内能增加，可引起C-C、C=C等化学键断裂并与其他物质发生化学反应，最终使有机物分子氧化降解为CO2、H2O等无害或毒性较小的小分子化合物。单一的等离子体对挥发性有机物的处理在能量利用等方面存在一定的局限性，为了更好地提高能量利用率和处理效果，有研究人员将等离子体技术与催化剂相结合，取得了很好的效果。