【摘 要】
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Verigy 93000测试系统(简称V93000测试系统)是当前应用广泛的测试机台，不论在实速器件特性分析还是大批量制造，V93000都能满足业界在性能和成本方面的需求和挑战。然而对于芯片
【机 构】
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武汉数字工程研究所，武汉430074
【出 处】
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第一届中国微电子计量与测试技术研讨会
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Verigy 93000测试系统(简称V93000测试系统)是当前应用广泛的测试机台，不论在实速器件特性分析还是大批量制造，V93000都能满足业界在性能和成本方面的需求和挑战。然而对于芯片的入厂检测来说，测试向量需要自行开发，手动编写费时费力，因此有必要在V93000测试系统上开发出一套向量生成工具。本文分析了V93000测试系统上测试向量开发的工作原理，讨论了测试向量的数据结构，并实现了V93000测试系统上向量生成工具的开发。
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