【摘 要】
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螺旋波放电是一种采用射频电源激发的无电极射频放电,是低气压射频放电的三种模式之一,需要在适当的磁场位形中才能实现并稳定维持,因此螺旋波等离子体的诊断需要在射频扰动和磁场共存的复杂环境中进行.当朗缪尔单探针方法应用到射频等离子体时,得到的Ⅰ-V特性发生形变.
【机 构】
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西安航天动力研究所,陕西西安710100 大连理工大学,辽宁大连116085
【出 处】
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第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会
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螺旋波放电是一种采用射频电源激发的无电极射频放电,是低气压射频放电的三种模式之一,需要在适当的磁场位形中才能实现并稳定维持,因此螺旋波等离子体的诊断需要在射频扰动和磁场共存的复杂环境中进行.当朗缪尔单探针方法应用到射频等离子体时,得到的Ⅰ-V特性发生形变.
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