【摘 要】
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设计了一种基于Vernier效应，可以大幅度提高滤波器自由光谱范围和调谐范围的热光可调谐级联微环滤波器。利用传输矩阵方法和有限元方法从理论上计算了对于第一级微环半径为48
【机 构】
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中国科学院半导体研究所，集成光电子国家重点实验室，北京,100083
【出 处】
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2011年全国硅基光电子材料及器件研讨会
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设计了一种基于Vernier效应，可以大幅度提高滤波器自由光谱范围和调谐范围的热光可调谐级联微环滤波器。利用传输矩阵方法和有限元方法从理论上计算了对于第一级微环半径为48μm，第二级半径为50μm的级联微环滤波器的自由光谱范围和调谐范围可以达到75.6nm，而功耗仅为103.1mW，这是目前为止我们所知的基于微环谐振腔的硅基热光可调谐滤波器中最大的自由光谱范围和在如此低功耗下最大的调谐范围。
利用有限元方法，还计算了半径为50μm微环的热光调谐响应时间，上升沿时间为3.5μs，下降沿时间仅为0.8μs。
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