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采用实验设计方法与模拟相结合对ＣＭＯＳ集成电路参数进行分析和优化设计，从影响电路参数的多个工艺因素中筛选出２个主要因素，分析工艺因素设置及其起伏对电路参数的影响，建立起电路参数相对主要工艺因素变化的宏模型，并用模型公式找出使电路参数在预期值附近且偏差最小的优化工艺条件。
CMOSIC的统计优化设计
【摘 要】
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采用实验设计方法与模拟相结合对ＣＭＯＳ集成电路参数进行分析和优化设计，从影响电路参数的多个工艺因素中筛选出２个主要因素，分析工艺因素设置及其起伏对电路参数的影响，建立起电路参数
【机 构】
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大学微电子学研究所
【出 处】
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第十届全国半导体集成电路、硅材料学术会
【发表日期】
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1997年期
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