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固态磷源分子束外延生长研究
固态磷源分子束外延生长研究
来源 :第五届全国分子束外延学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wang81920
【摘 要】
:
该文在国产分子束外延设备的基础上,引进了一套RIBER的全固态源炉并尝试着进行了材料生长,获得了一些初步结果。利用三温区阀控裂解磷源炉生长子非故意掺杂的InP表面形貌良好,生
【作 者】
:
郝智彪
卢京辉
任在元
罗毅
【机 构】
:
清华大学电子共程系集成光电子国家重点实验室(北京)
【出 处】
:
第五届全国分子束外延学术会议
【发表日期】
:
1999年6期
【关键词】
:
固态磷源
分子束外延生长
材料生长
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该文在国产分子束外延设备的基础上,引进了一套RIBER的全固态源炉并尝试着进行了材料生长,获得了一些初步结果。利用三温区阀控裂解磷源炉生长子非故意掺杂的InP表面形貌良好,生长速度约0.5μm/hour,载流子浓度约为-1×10<16>cm<-3>。
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