【摘 要】
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Emitter fabrication by POCI3 diffusion process is the main stream industrial approach.The diffusion ambient conditions,such as gas flow rates and gas compos
【出 处】
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SNEC 第七届(2013)国际太阳能产业及光伏工程(上海)论坛
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Emitter fabrication by POCI3 diffusion process is the main stream industrial approach.The diffusion ambient conditions,such as gas flow rates and gas composition have significant impacts on the emitter properties.In this paper,we studied the different diffusion ambiences affect the emitter quality.Measured by ECV and μ-PCD,its found that suitable gas ratio of POCI3/O2 can reduce the Joe by more than 15%.Additionally,we found that pre-oxygen process is beneficial for improving wafers bulk-lifetime and emitter quality.The possible mechanisms are also researched.
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