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研究了在NASICON基板上使用溅射法制备的YSZ薄膜的结构、晶相和导电性，实验表明，刚制备的YSZ薄膜经750℃常规退火处理后，薄膜表面致密、均匀、无裂纹，具备良好的导电性能。YSZ/NASICON组合再加上Ba(NO<,3>)<,2>辅助电极构成的NO<,x>气体传感器在450℃下响应迅速(响应时间约为3min)、稳定，能检测到10ppm量级的NO<,2>气体。