随着新兴工业的兴起和传统工业的技术升级，干式真空泵的应用场合得到了广泛的拓展，其研发和生产也越来越受到重视。微型化和一体化是真空泵发展的重要趋势之一，高真空干泵是具有代表性的一种新型干泵。本文介绍了典型的高真空干泵的结构组成和工作原理，并对影响高真空干泵极限真空度的螺旋级转子进行了研究，通过对几种型线进行了计算机模拟研究，通过对温度、结构、动力性等进行了多物理场研究，并利用直接模拟蒙特卡罗方法对高真空干泵螺旋级转子的抽气过程进行模拟，对螺旋级转子几何外形、流场中的分子温度、表面温度、气体种类、碰撞模型等方面进行了研究。通过模拟得到螺旋级转子几何参数对泵抽气效率的影响机制，通道表面温度和气体分子温度对泵抽气特性影响规律。研究分别采用可变硬球(VHS)模型和可变软球(VSS)模型在抽气性能模拟中的模拟结果和对比，并应用于高真空干泵螺旋级转子的性能计算，得到影响高真空干泵性能的参数调节机制，为高真空干泵的设计提供了理论依据和指导。