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基于Mirau双光束干涉,设计了检测微表面形貌的Mirau相移干涉轮廓仪。Mirau干涉物镜中增加了支撑板,补偿板和分束板的表面质量要求相同,物镜为筒长无限的长工作距物镜。Mirau干涉物镜的数值孔径NA=0.3,放大率β- 10,工作距5mm。移项器是压电陶瓷传感器PZT。连续采集了5 幅光纤连接器端面的干涉图,经五步相移法得到表面三维形貌。