金属氢化物真空弧离子源电极表面模拟研究

来源 :第十七届全国等离子体科学技术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jyy3196294
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金属氢化物做电极,放电产生的等离子体当中,不仅存在氢相关粒子,同时存在大量来自电极的金属材料粒子。关注放电过程中电极表面金属原子蒸发和氢释放的情况,对于提高离子源放电的氢离子比具有很大意义。通过物理建模的方式,对电弧放电过程中电极表面过程进行描述,探索金属原子蒸发和氢释放的影响因素,对于指导改进离子源设计,提高放电效率意义重大。
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